제품소개

Materials

  • 고순도황산(PSA: Pure Sulfuric Acid)
    고순도황산(PSA: Pure Sulfuric Acid)

    고순도황산(PSA)이란 높은 순도를 가진 황산을 의미합니다. ‘전자급 황산’이라고도 불리는 반도체용 고순도황산은, 반도체 제조 시 세정 공정에서 웨이퍼의 표면에 있는 미세한 불순물까지 제거해, 반도체 제조에 필수적으로 사용되는 소재입니다.

    LS MnM의 PSA는 제련공정에서 발생하는 아황산가스(SO2)로 제조한 고품질의 액체무수황산(L-SO3)을 증발시킨 후 초순수(UPW)에 흡수시켜 제조합니다. 여러 단계의 나노필터를 거쳐 탱크로리에 자동 충전하여, 완벽한 품질과 안정성을 보증합니다. 또한 LS MnM의 품질체계는 최신식 분석장비와 축적된 운영 know-how를 적용하여 고객사들로부터 널리 인정받고 있습니다. 이러한 첨단 공정을 통해 최고 품질의 PSA를 생산하여, 국내 굴지의 반도체 기업들에 공급 중입니다.

    반도체용 고순도 황산 이미지 반도체용 고순도 황산 이미지

    • 연간 생산능력

      180kt

    • 용도

      반도체 제조 공정에서 웨이퍼(wafer) 표면 불순물 제거(cleaning)

    • 규격

      성분 단위 규격
      H2SO4 % 96.0±0.5
      불순물 Ga, Au, Si, As, Ti ppb < 0.1
      B ppb < 0.05
      Li, Be, Na, Mg, Al, K, Ca, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ge, Sr, Ag, Cd, Sn, Ba, Pb, Hg, Sb, Bi, Mo, Nb, Se, Ta, Tl, V, Zr, W ppb < 0.02

    • 출하 방법

      탱크로리(tank lorry)

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